[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [18p-E14-15] 太陽電池級シリカ還元プロセスにおける触媒探索

^○小笠原卓哉¹，アブドラハマンブスタ¹，佐藤裕之¹，古屋泰文¹，角谷正友²，鯉沼秀臣³，伊高健治¹ (弘前大¹，物材機構²，東大新領域³)

キーワード：シリカ,還元,触媒