2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:45 E14 (E302)

17:15 〜 17:30

[18p-E14-16] BST薄膜のLiTaO3基板へのレーザー転写

○佐本哲雄，引地広介，平野栄樹，田中秀治 (東北大)

キーワード：レーザー転写,接合,有限要素法