[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-20] ナノシリコン弾道電子源を用いたSi, Ge, SiGe薄膜の堆積

^○須田隆太郎，八木麻実子，小島明，MentekRomain，白樫淳一，越田信義 (農工大・院・工)

キーワード：電子源,薄膜堆積,還元