18:30 〜 18:45
[18p-E14-21] 微細パターン形状の座屈不良に及ぼす寸法ばらつきの影響度解析
キーワード：半導体,応力シミュレーション,微細構造の座屈
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:45 E14 (E302)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:45 E14 (E302)
18:30 〜 18:45
キーワード：半導体,応力シミュレーション,微細構造の座屈