[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-3] 高速度カメラを用いた先鋭バンプの超音波接合のその場観察

^○首藤高徳^1,2，浅野種正¹ (九大¹，学振特別研究員DC²)

キーワード：超音波接合,常温実装