[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-6] 低温接着および厚膜マイクロ流路チャネル形成用感光性材料

^○稗田克彦¹，山口宙志¹，小宮全¹，宮崎智和²，SaraPeeters²，JohnO‘callghan³，KarolienJans³，ChengxunLiu³，LiesbetLagae³，ParuDeshpande³ (JSR¹，JSR Micro N.V.²，IMEC³)

キーワード：マイクロ流路,低温接着剤,感光性材料