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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:45 E14 (E302)

15:00 〜 15:15

[18p-E14-8] ビーズを用いた細菌検出センサの蛍光検出感度向上の検討

^○西村祐典 (豊橋技術科学大電気・電子情報工学課程)

キーワード：MEMS