[18p-E16-1~14] 4.2 フォトニックナノ構造・現象

△ [18p-E16-11] 電界制御板構造が斜め方向プラズマエッチングに与える影響の検討

^○北野圭輔，石崎賢司，野田進 (京大院工)

キーワード：3次元フォトニック結晶,プラズマエッチング