[18p-E5-1~11] 15.6 IV族系化合物

[18p-E5-10] 4H-SiCにおける表面再結合速度の温度依存性の評価

^○小濱公洋，森佑人，加藤正史，市村正也 (名工大)

キーワード：4H-SiC,surface recombination velocities,temperature dependence