2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[18p-E5-1~11] 15.6 IV族系化合物

2014年3月18日(火) 13:15 〜 16:15 E5 (E105)

14:00 〜 14:15

[18p-E5-4] SAB法によるp+-Si / n-4H-SiC接合のアニール温度依存性

○(M1)西田将太1,梁剣波1,林朋宏1,森本雅史1,重川直輝1,新井学2 (阪市大工1,新日本無線2)

キーワード:表面活性化ボンディング法,SiC,アニール