[18p-F1-1~15] 7.1 X線技術

△ [18p-F1-9] レーザー駆動EUV光源プラズマのレーザー吸収率測定

^○松隈啓¹，鵜篭照之¹，吉田健祐¹，浦辺祥吾¹，李超剛²，藤岡慎介¹，西村博明¹，佐藤英児³，染川智弘⁴，柳田達哉⁵ (阪大レーザー研¹，摂南大²，日本アドバンストテクノロジー³，レーザー総研⁴，ギガフォトン⁵)

キーワード：EUV光源