[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-13] 室温ナノインプリント後のPDMS添加剤含有HSQの離型性評価

^○菅野矩弘，岡田真，春山雄一，松井真二 (兵庫県立大)

キーワード：HSQ　,PDMS