2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

2014年3月18日(火) 14:00 〜 19:00 F3 (F301)

17:45 〜 18:00

[18p-F3-15] ナノインプリントにおけるレジスト収縮と離型のシミュレーション

○(B)栩野貴充,塩津隆弘,植村公亮,安田雅昭,川田博昭,平井義彦 (阪府大)

キーワード:ナノインプリント,離型,シミュレーション