6:15 PM - 6:30 PM
[18p-F3-17] Simulation study on template releasing process in nanoimprint lithography(dependence on pattern structure)
Keywords:ナノインプリント,離型,シミュレーション
Oral presentation
07. Beam Technology and Nanofabrication » 7.4 Nanoimprint
Tue. Mar 18, 2014 2:00 PM - 7:00 PM F3 (F301)
6:15 PM - 6:30 PM
Keywords:ナノインプリント,離型,シミュレーション