[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-19] 離型プロセスにおける偏析剤による離型性の向上効果

^○中村直登¹，山下恒雄²，北川拓哉¹，川田博昭¹，平井義彦¹ (大府大工¹，ダイキン工²)

キーワード：ナノインプリント,離型,界面エネルギー