[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-2] シングルナノパターニングを目指した光ナノインプリントリソグラフィによるSiナノガイドの作製

^○服部梓¹，伊東駿也²，中川勝²，田中秀和¹ (阪大産研¹，東北大多元研²)

キーワード：光ナノインプリント,シングルナノパターニング