[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

△ [18p-F3-4] 電界印加によるパタン形成法の研究

^○内田晴丈¹，福田眞¹，横尾篤² (弘前大¹，NTT ナノフォトニクスセンタ, NTT 物性科学基礎研²)

キーワード：パタン形成,ナノインプリント