2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

2014年3月18日(火) 14:00 〜 19:00 F3 (F301)

15:45 〜 16:00

[18p-F3-8] 多段マスク法による三次元流路用モールドの作製

川田博昭,下向主真,安田雅昭,平井義彦 (大阪府大)

キーワード:インプリント,三次元流路,モールド