[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

△ [18p-F3-9] 液中アライメント用UVナノインプリントモールドの作製

^○鈴木健太^1,2，尹成圓^1,2，王清^1,2，廣島洋^1,2 (産総研¹，JST-CREST²)

キーワード：UVナノインプリント,液中アライメント