[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-F6-11] Si基板上に直接成長させたGeのTOF-SIMS測定

^○河野健一郎¹，朴成鳳²，石川靖彦²，和田一実² (物材機構量子ビームU¹，東大工学部²)

キーワード：Ge,TOF-SIMS