[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-F6-12] Al₂O₃挿入層を有する貼り合わせGeOI基板の電気特性評価

^○吉田啓資¹，中村芳明¹，竹内正太郎¹，守山佳彦^1,2，手塚勉²，酒井朗¹ (阪大院基礎工¹，産総研グリーンナノエレクトロニクスセンター²)

キーワード：GeOI