2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年3月18日(火) 13:30 〜 18:45 F6 (F306)

16:45 〜 17:00

[18p-F6-13] 軟X線源を用いたSiGe多層膜の低温結晶化

○(M1)草壁史1,丸山裕樹1,部家彰1,松尾直人1,神田一浩2,望月孝晏2,伊藤和博3,高橋誠3 (兵庫県立大院工1,兵庫県立大高度研2,阪大・接合研3)

キーワード:軟X線,低温結晶化,透過型電子顕微鏡