[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [18p-F6-13] 軟Ｘ線源を用いたSiGe多層膜の低温結晶化

^○（M1）草壁史¹，丸山裕樹¹，部家彰¹，松尾直人¹，神田一浩²，望月孝晏²，伊藤和博³，高橋誠³ (兵庫県立大院工¹，兵庫県立大高度研²，阪大・接合研³)

キーワード：軟Ｘ線,低温結晶化,透過型電子顕微鏡