2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2014年3月18日(火) 13:30 〜 18:45 F6 (F306)

17:00 〜 17:15

△ [18p-F6-14] X線マイクロ回折法による埋め込みGe1−xSnx/Ge微細構造内部の局所歪評価

○池進一1，守山佳彦2，黒澤昌志1,3，田岡紀之1，中塚理1，今井康彦4，木村滋4，手塚勉2，財満鎭明1 (名大院工1，産総研GNC2，学振特別研究員(PD)3，JASRI4)

キーワード：Ge,GeSn,マイクロ回折