PDF ダウンロード スケジュール 2 いいね! 0 13:45 〜 14:00 [18p-F6-2] サブモノレイヤカーボンによるGe/Siミキシングの抑制に関する検討 ○伊藤友樹1,早瀬凌2,畠山真慈1,川島知之1,2,鷲尾勝由1,2 (東北大院工1,東北大工2) キーワード:シリコン,ゲルマニウム,カーボン