2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年3月18日(火) 13:30 〜 18:45 F6 (F306)

13:45 〜 14:00

[18p-F6-2] サブモノレイヤカーボンによるGe/Siミキシングの抑制に関する検討

伊藤友樹1,早瀬凌2,畠山真慈1,川島知之1,2,鷲尾勝由1,2 (東北大院工1,東北大工2)

キーワード:シリコン,ゲルマニウム,カーボン