[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [18p-F6-4] MOCVD法によるGeエピタキシャル成長

^○須田耕平¹，石原聖也¹，町田英明²，石川真人²，須藤弘²，大下祥雄³，小椋厚志¹ (明治大¹，気相成長²，豊田工大³)

キーワード：GeSn,MOCVD,エピタキシャル成長