[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-F6-6] Pデルタドープによるn型Geへの極浅オーミック接触の形成

^○山田道洋¹，竹内嘉寛²，澤野憲太郎²，伊藤公平¹ (慶大理工¹，東京都市大²)

キーワード：delta-doping,Ge,Ohmic contact