2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

分科企画シンポジウム

分科企画シンポジウム » 21世紀グラフェン産業を支えるプラズマプロセスの現状と展望

[18p-F7-2~10] 21世紀グラフェン産業を支えるプラズマプロセスの現状と展望

2014年3月18日(火) 13:45 〜 18:00 F7 (F307)

15:00 〜 15:30

[18p-F7-5] SiC上単結晶グラフェンの成長とその物性評価(30分)

永瀬雅夫 (徳島大学)

キーワード:グラフェン,SiC熱分解法