2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[18p-PA11-1~8] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年3月18日(火) 16:00 〜 18:00 PA11 (アリーナ)

16:00 〜 18:00

[18p-PA11-3] 化学的転写法で形成した極低反射率Si表面の微細構造解析

謝ブン1,2,入鹿大地1,2,野中啓章1,2,高橋昌男1,2,今村健太郎1,2,小林光1,2 (阪大産研1,科学技術振興機構戦略的創造研究2)

キーワード:極低反射率,シリコン-ナノクリスタル,屈折率