[18p-PA12-1~10] 13.4 デバイス/集積化技術

[18p-PA12-1] 1次元リン(P)ドーパント配列を有する長チャネルトランジスタの低温伝導特性評価

^○熊谷国憲¹，EnricoPrati²，堀匡寛³，福井結子¹，谷井孝至¹，品田賢宏⁴ (早大理工¹，CNR-IFN²，富山大³，産総研⁴)

キーワード：ドーパント配列,トランジスタ,長チャネル