13:30 〜 15:30
[18p-PA5-5] Xeレーザープラズマ軟X線による微細加工と表面改質
キーワード：レーザープラズマX線,Teflon,PMMA
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
04．量子エレクトロニクス » 4.7 レーザー・プロセッシング
[18p-PA5-1~8] 4.7 レーザー・プロセッシング
2014年3月18日(火) 13:30 〜 15:30 PA5 (アリーナ)
一般セッション(ポスター講演)
04．量子エレクトロニクス » 4.7 レーザー・プロセッシング
2014年3月18日(火) 13:30 〜 15:30 PA5 (アリーナ)
13:30 〜 15:30
キーワード：レーザープラズマX線,Teflon,PMMA