[18p-PA6-1~5] 8.2 プラズマ診断・計測

[18p-PA6-3] Arガスを用いた容量結合型RFプラズマ中における金属の電流電圧特性Ⅸ

^○久保隆 (広国院大工)

キーワード：プローブ,高周波,プラズマ