2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[18p-PG2-1~7] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

2014年3月18日(火) 13:30 〜 15:30 PG2 (G棟2階)

13:30 〜 15:30

[18p-PG2-2] Al/CaF2/Si MIS構造のトンネル電流評価

○（D）須田慶太，傳田純也，桑田友哉，越田悠太，渡辺正裕 (東工大)

キーワード：トンネル効果,CaF2,MIS構造