2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18p-PG3-1~19] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年3月18日(火) 13:30 〜 15:30 PG3 (G棟2階)

13:30 〜 15:30

[18p-PG3-12] 炭素ドープされたGaN基板上MOCVD n-GaN中のトラップ評価

宮本一輝,徳田豊 (愛知工大)

キーワード:トラップ