[18p-PG3-1~19] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18p-PG3-13] 高電圧ストレスによるAlGaN/GaNの界面とバルクトラップの測定 に関する研究

^○譚錫昊¹，川那子高暢²，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²)

キーワード：AlGaN/GaN　キャパシタンス　トラップ