2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18p-PG3-1~19] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年3月18日(火) 13:30 〜 15:30 PG3 (G棟2階)

13:30 〜 15:30

[18p-PG3-19] a面低Mgドープp-GaNショットキー接触の評価(2)

永縄萌1,青木俊周1,塩島謙次1,天野浩2,SonJi-Su2 (福井大院工1,名古屋大2)

キーワード:a面GaN,低Mgドープ,ショットキー接触