[18p-PG6-1~15] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[18p-PG6-10] シリコン基板上直接成長メタモルフィックGaAs/InGaAsバッファのその場反射率測定

^○荒井昌和，中尾亮，伊賀龍三，神徳正樹 (NTTフォトニクス研)

キーワード：メタモルフィック,シリコン