[18p-PG6-1~15] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[18p-PG6-6] 直接貼付InP/GaAs基板上GaInAsP系MOVPE成長

^○金谷佳則，松本恵一，小冷亮太，岸川純也，下村和彦 (上智大)

キーワード：有機金属気相成長法,直接貼付法