[19a-D10-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-D10-2] コンビナトリアル成膜によるPLZT薄膜の組成依存性評価

^○西尾正悟，黒川文弥，肥田博隆，神野伊策 (神戸大)

キーワード：圧電薄膜