2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

16.非晶質・微結晶 » 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

2014年3月19日(水) 09:30 〜 12:30 D2 (D113)

09:30 〜 09:45

[19a-D2-1] ジボランの加熱タングステンワイヤ上での分解過程

梅本宏信1,2,金光泰二郎1,2,田中晃人1 (静岡大工1,JST CREST2)

キーワード:CVD,気相診断