[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-1] ジボランの加熱タングステンワイヤ上での分解過程

^○梅本宏信^1,2，金光泰二郎^1,2，田中晃人¹ (静岡大工¹，JST CREST²)

キーワード：CVD,気相診断