[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-10] メニスカス力による大面積転写技術を用いて形成されたPET基板上単結晶シリコン膜の密着性改善

^○中村将吾，酒池耕平，赤澤宗樹，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：中空構造SOI層,メニスカス,転写