[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-2] Ge基板上に合成したII型Geクラスレート膜における内包Naの低減

^○大橋史隆，杉山智哉，野口明宏，角谷和保，久米徹二，伴隆幸，野々村修一 (岐大工)

キーワード：clathrate,thin film,semiconductor