[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-5] グリーンレーザ照射による液体原料Si薄膜へのテクスチャ形成とその太陽電池への応用

^○溝口雅裕¹，増田貴史^1,3，申仲栄^1,2，高岸秀行^1,2，下田達也^1,2,3 (北陸先端大¹，JST-ALCA²，JST-ERATO³)

キーワード：GLA,テクスチャ,液体シリコン