[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-6] 単結晶Si基板上に固相成長させた結晶SiGe薄膜に関する検討

^○（M1）小島祐二¹，磯村雅夫^1,2 (東海大院工¹，東海大工²)

キーワード：固相成長,SiGe,結晶