[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-7] FLAによるテクスチャ透明導電膜上のpoly-Si薄膜形成

^○渡邊大貴，大平圭介 (北陸先端大)

キーワード：フラッシュランプアニール,Asahi type-VU,多結晶Si