[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-8] Si/Ge多層薄膜を用いた赤外線イメージセンサ用薄膜材料の構造検討

^○太田裕紀，中村優平，宝田隼，古川昭雄 (東理大)

キーワード：Infrared Image Sensor