[19a-D5-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [19a-D5-3] 環境制御型nc-AFMを用いた原子状水素照射Siエッチングの観察

^○宮城友昭¹，笹原亮¹，富取正彦¹，粉川良平²，大田昌弘²，山田啓文³，小林圭^3,4，大藪範昭⁵ (北陸先端大¹，島津製作所²，京大院工³，京大白眉セ⁴，JST/先端計測⁵)

キーワード：原子状水素