2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[19a-D6-1~9] 6.4 薄膜新材料

2014年3月19日(水) 09:00 〜 12:15 D6 (D209)

09:00 〜 09:30

[19a-D6-1] [INVITED](30min.)Glancing Angle Deposition for Practical Applications

MotofumiSuzuki1 (Kyoto Univ.1)

キーワード:thin films,shadowing growth,glancing angle deposition