[19a-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

△ [19a-D8-10] 広い温度範囲で動作するAlGaN/GaN系Pチャネル型HFET

^○米澤宏昭¹，萱沼怜¹，中島昭³，西澤伸一³，大橋弘通³，角嶋邦之¹，若林整¹，岩井洋²，筒井一生¹ (東工大総理工¹，東工大フロンティア研²，産総研³)

キーワード：HFET,ＧａＮ,p-channel